三維光學輪廓儀

HD9800+

光學輪廓儀，用于存儲器測頭計量，全自動設計實現(xiàn)優(yōu)化的PTR和平面度測量

HD9800+ 三維大幅面輪廓測量系統(tǒng)是先進的光學輪廓儀，適用于在線數(shù)據(jù)存儲磁頭的計量。該系統(tǒng)將具有計量功能的光學表征技術與先進的自動化技術相結合，可執(zhí)行出色的 PTR 和平整度測量。HD9800+ 吸收了數(shù)十年的工業(yè)高清計量經(jīng)驗，具有白光干涉（WLI）、自校準、LED 高強度照明、易操作軟件及其他多項優(yōu)勢，提供可靠的高分辨無損計量，幫助數(shù)據(jù)存儲制造商改進工藝質量，提升良率。

全面
自動化
執(zhí)行高速磁頭 CCT 和 PTR 表征。


操作簡單
軟件
簡化操作人員之間數(shù)據(jù)存儲分析和報告的使用。


特點

精準度標桿

HD9800+ 系統(tǒng)的耐振動設計、集成式氣浮隔震臺以及緊隨行業(yè)技術路線的生產(chǎn)友好型架構，可保證車間量產(chǎn)使用期間測量的完整性。該系統(tǒng)采用高分辨攝像頭，提供卓越的橫向分辨率和準確度，同時具有多種專為先進工藝控制設計的硬件和分析軟件功能，是適用于數(shù)據(jù)存儲磁頭應用的速度快、計量功能強的系統(tǒng)。

卓越的 PTR 和平整度測量能力

PTR 分析

三維光學圖像可進行 PTR 量化表征。


HD9800+ 可提供快、準確的滑塊極尖沉降（PTR）和磁頭支承面平整度三維測量。該系統(tǒng)還可對照內置基準持續(xù)校準，無需再對臺階高度進行定期校準。這種自校準確保了長期的穩(wěn)定性和關聯(lián)性，大幅縮短了校準時間，最終提供現(xiàn)有可靠、適用性強、準確的工業(yè)計量。

優(yōu)化性能的選裝配件

HD9800+ 可選裝多種增強配件，滿足用戶設施的特定要求：

  • Dual Accu Phase（DAP）軟件，為不同材料的磁頭提供 PTR 計量與AFM 基準的絕對關聯(lián)

  • 快速傾斜/俯仰模式，提供簡單的操作能力可重復性，實現(xiàn)全天候生產(chǎn)運行

  • SureVision軟件，通過對感興趣特征的自動圖案識別，執(zhí)行刻蝕深度測量和位置測量，無需操作人員干預

  • 高級軟件分析，新增多項功能

  • 燈塔，向車間人員突出展示運行狀態(tài)

  • 條形碼掃描器，簡化材料和工作流程處理

Vision64 分析軟件

Vision64 可輕松實現(xiàn)高級數(shù)據(jù)存儲分析。