三維光學(xué)輪廓儀

ContourX-500

ContourX家族的桌面旗艦型號，全自動設(shè)計，帶編碼器的樣品臺，頭部傾斜設(shè)計，和AcuityXR實(shí)現(xiàn)高橫向分辨率

ContourX-500 光學(xué)輪廓儀是全球功能全面的自動化臺式系統(tǒng)，可快速完成非接觸式三維表面計量。ContourX-500 具有卓越的 Z 軸分辨率和準(zhǔn)確度，并具備布魯克落地式白光干涉（WLI）儀器廣受業(yè)界認(rèn)可的所有優(yōu)勢，而占地面積更小。該款輪廓儀可輕松自主配置，適用于從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝的質(zhì)量保證／質(zhì)量控制（QA/QC）計量到眼科和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件的研發(fā)表征等廣泛的復(fù)雜應(yīng)用。

傾斜/俯仰

光學(xué)頭

旋轉(zhuǎn)測頭進(jìn)行不同角度測量表面特征時，將跟蹤誤差減至低。

先進(jìn)

用戶界面

提供對大量預(yù)編程過濾器和分析程序的直接調(diào)用。

集成式

氣浮隔震

在緊湊空間內(nèi)提供計量精度。

特點(diǎn)

專為卓越臺式計量設(shè)計

布魯克專有的光學(xué)頭傾斜/俯仰技術(shù)，為用戶生產(chǎn)設(shè)置和檢測提供極大的靈活度。布魯克將自動傾斜/俯仰功能與顯微鏡頭中的光路相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了檢測點(diǎn)與視線的結(jié)合，不受傾斜影響，從而減少操作人員的干預(yù)，提供大可重現(xiàn)性。其他硬件功能包括創(chuàng)新工作臺設(shè)計，可提升拼接能力；配備一只 5MP 攝像頭，并采用 1200x1000 測量陣列，可降低噪聲、擴(kuò)大視場并提高橫向分辨率。ContourX-500 將這些功能與自動化平臺設(shè)置和物鏡相融合，而且僅占較小的空間，成為“按需測量”研發(fā)和工業(yè)計量的理想系統(tǒng)。

傳統(tǒng)的俯仰滾動工作臺設(shè)計需要操作人員調(diào)整五個旋轉(zhuǎn)軸，以將檢測點(diǎn)保持在視線上進(jìn)行測量。布魯克獨(dú)的光學(xué)頭傾斜/俯仰設(shè)計，不受傾斜影響，都能將視線保持在檢測點(diǎn)上，從而優(yōu)化圖像采集，并大幅縮短數(shù)據(jù)獲取時間。

直接使用多種分析

分析微流體器件的底部通道，通過 Vision64 的多個區(qū)域直接提取。

ContourX-500采用布魯克簡單而強(qiáng)大的 VisionXpress? 和 Vision64? 用戶界面，提供數(shù)千種自定義分析以提升實(shí)驗室和工廠的效率。布魯克全新通用掃描干涉（USI）測量模式可提供全自動、自感知式表面紋理、優(yōu)化信號處理，同時對所分析的表面形貌執(zhí)行準(zhǔn)確、實(shí)際的計算。