原子力顯微鏡

Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡

LED 基板和外延片的理想計(jì)量和檢測(cè)系統(tǒng)
布魯克的Dimension Edge? PSS原子力顯微鏡與AutoMET?軟件是LED基板和外延片制造商理想的納米計(jì)量和納米檢測(cè)系統(tǒng)。作為Dimension EDGE AFM 平臺(tái)的延伸，Edge PSS 融合了 Dimension AFM 系統(tǒng)廣為人知的掃描技術(shù)和超高分辨率，同時(shí)也為半導(dǎo)體基片生產(chǎn)提供了測(cè)量的解決方案。
納米
分辨率
分析 PSS 基板的每個(gè)關(guān)鍵參數(shù)。


<0.2nm

噪音地板
提供裸基材和表皮粗糙度測(cè)量。


生產(chǎn)級(jí)

易用性
在價(jià)值合理的工業(yè) AFM 中提供好的用戶體驗(yàn)。


特征

PSS 分析的高分辨率


隨著藍(lán)寶石基板 PSS結(jié)構(gòu) 的間距趨近 2 微米，傳統(tǒng)的共聚焦技術(shù)失去了提供有價(jià)值的工藝測(cè)量所需的分辨率。Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡 （AFM） 擁有亞納米分辨率和一次測(cè)量多達(dá) 9 個(gè) 2 英寸晶圓（或單個(gè) 4 或 6 英寸晶圓）的能力，能夠解決測(cè)量中的高分辨、高效的需求，提供了PSS 制造過(guò)程所需要進(jìn)行的大量檢測(cè)數(shù)據(jù)。


除了Dimension EDGE PSS 內(nèi)置的特定 PSS 測(cè)量功能外，該系統(tǒng)還集成了 布魯克Dimension 顯微鏡系列著名的掃描技術(shù)，適用于外延粗糙度測(cè)量中高分辨率、低噪聲的要求，包括了輕敲模式、接觸模式、相位測(cè)量等標(biāo)準(zhǔn)的AFM模式以及AFM專有的抬高模式。

平頂圖案: 藍(lán)寶石基板的 3D AFM 圖像。

高級(jí) PSS 計(jì)量能力

Dimension EDGE PSS AFM 提供納米分辨率，用于分析 PSS 基板的每個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，同時(shí)可以進(jìn)行但晶圓的多點(diǎn)以及多個(gè)晶圓的多點(diǎn)測(cè)試。布魯克的專用 PSS 分析包可以同時(shí)提供：

  • 高度、寬度和間距

  • 側(cè)壁角度和特征輪廓

  • 不對(duì)稱識(shí)別和測(cè)量

  • 污染識(shí)別

  • 轉(zhuǎn)彎識(shí)別和轉(zhuǎn)彎角度

  • 平頂識(shí)別

Dimension EDGE PSS 系統(tǒng)能夠?qū)?PSS 結(jié)構(gòu)進(jìn)行深入分析。

業(yè)界領(lǐng)先的AutoMET軟件




Dimension   Edge PSS 系統(tǒng)集成了專門設(shè)計(jì)用于滿足LED制造要求的AutoMET軟件。 該軟件具有兩種不同級(jí)別的操作模式：

操作員級(jí)別：簡(jiǎn)單的用戶界面，一步步指導(dǎo)用戶完成探針更換，激光對(duì)齊，Tune 探針和確認(rèn)探針安裝的步驟。 一鍵完成多達(dá)9個(gè)晶圓“”合格/失敗“”的分類測(cè)試結(jié)果的自動(dòng)輸出，

工程師級(jí)別：受密碼保護(hù)的用戶界面， 工程師可以訪問(wèn)所有關(guān)鍵的AFM參數(shù)。 在這種模式下，制程工程師可以輕松設(shè)置所有必需的“”通過(guò)/失敗“檢測(cè)”標(biāo)準(zhǔn)。

Dimension Edge PSS通過(guò)輕松的激光對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)生成報(bào)告的方式提高了系統(tǒng)的可操作性。